К.И. Антоненко, А.А. Арендаренко, Ю.П. Райнова, И.Н. Сорокин, С.М. Турилин. Исследование газовых потоков в реакторе радиального типа для эпитаксии GaAs // Изв. РАН. МЖГ. 1996. № 6. С. 118-124.

Loading document ...