К.И. Антоненко, А.А. Арендаренко, Ю.П. Райнова, И.Н. Сорокин, С.М. Турилин. Исследование газовых потоков в реакторе радиального типа для эпитаксии GaAs // Изв. РАН. МЖГ. 1996. № 6. С. 118-124.
–
10%
20%
30%
40%
50%
60%
70%
80%
90%
100%
110%
120%
130%
140%
150%
160%
170%
180%
190%
200%
+
:
: : :
<<
<
/
>
>>
Скачать
pdf статьи (511K)
Loading document ...
Для просмотра статьи в браузере включите javascript