| | Механика жидкости и газа Известия Российской академии наук | | Журнал основан
в январе 1966 года
Выходит 6 раз в год
ISSN 1024-7084 |
Архив номеров
Для архивных номеров (2007 г. и ранее)
полные тексты статей
доступны для свободного просмотра и скачивания.
Статей в базе данных сайта: | | 8353 |
|
<< Предыдущая статья | Год 2021. Номер 1 | Следующая статья >> |
Емельянов А.А., Плотников М.Ю., Ребров А.К., Тимошенко Н.И., Юдин И.Б. Использование сверхзвуковой струи газа, активированного в микроволновом разряде, для осаждения алмаза // Изв. РАН. МЖГ. 2021. № 1. С. 106-114. |
Год |
2021 |
Том |
|
Номер |
1 |
Страницы |
106-114 |
DOI |
10.31857/S0568528121010035 |
Название статьи |
Использование сверхзвуковой струи газа, активированного в микроволновом разряде, для осаждения алмаза |
Автор(ы) |
Емельянов А.А. (Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, Россия, alemelyanov@gmail.com)
Плотников М.Ю. (Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, Россия, plotnikov@itp.nsc.ru)
Ребров А.К. (Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, Россия, rebrov@itp.nsc.ru)
Тимошенко Н.И. (Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, Россия, vika@itp.nsc.ru)
Юдин И.Б. (Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, Россия, yudinib@gmail.com) |
Коды статьи |
УДК 533 |
Аннотация |
Рассматривается газоструйный метод осаждения алмазных структур с использованием для активации газов сверхвысокочастотного (СВЧ) разряда. Методом прямого статистического моделирования (ПСМ) проведен анализ газодинамических процессов, происходящих в условиях газоструйного осаждения алмазных структур. Исследовано течение активированного газа в сопле, установлено существенное влияние процессов в сжатом слое, формируемом вблизи подложки, на скорость синтеза алмазных структур. Определены режимы течения активированных в разрядной камере компонент смеси к подложке, показано заметное торможение тяжелых компонент в сжатом слое. Показано, что при увеличении давления в камере осаждения от 10 до 80 торр скорость роста кристаллов возрастает в 4 раза за счет увеличения удельного потока активированных компонент к подложке. |
Ключевые слова |
газоструйный метод, осаждение алмазов, метод ПСМ |
Поступила в редакцию |
15 апреля 2020 | После доработки |
21 июня 2020 | Принята к публикации |
21 июня 2020 |
Получить полный текст |
|
<< Предыдущая статья | Год 2021. Номер 1 | Следующая статья >> |
|
Если Вы обнаружили опечатку или неточность на странице сайта, выделите её и нажмите Ctrl+Enter
|
|