Механика жидкости и газа (о журнале) Механика жидкости и газа
Известия Российской академии наук
 Журнал основан
в январе 1966 года
Выходит 6 раз в год
ISSN 0568-5281

Русский Русский  English English  О журнале | Номера | Для авторов | Редколлегия | Подписка | Контакты
 


ИПМех РАНХостинг предоставлен
Институтом проблем
механики 
им. А.Ю. Ишлинского РАН

Архив номеров

Статей в базе данных сайта: 2341

<< Предыдущая статья | Год 2021. Номер 1 | Следующая статья >>
Емельянов А.А., Плотников М.Ю., Ребров А.К., Тимошенко Н.И., Юдин И.Б. Использование сверхзвуковой струи газа, активированного в микроволновом разряде, для осаждения алмаза // Изв. РАН. МЖГ. 2021. № 1. С. 106-114.
Год 2021 Том   Номер 1 Страницы 106-114
DOI 10.31857/S0568528121010035
Название
статьи
Использование сверхзвуковой струи газа, активированного в микроволновом разряде, для осаждения алмаза
Автор(ы) Емельянов А.А. (Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, Россия, alemelyanov@gmail.com)
Плотников М.Ю. (Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, Россия, plotnikov@itp.nsc.ru)
Ребров А.К. (Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, Россия, rebrov@itp.nsc.ru)
Тимошенко Н.И. (Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, Россия, vika@itp.nsc.ru)
Юдин И.Б. (Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, Россия, yudinib@gmail.com)
Коды статьи УДК 533
Аннотация

Рассматривается газоструйный метод осаждения алмазных структур с использованием для активации газов сверхвысокочастотного (СВЧ) разряда. Методом прямого статистического моделирования (ПСМ) проведен анализ газодинамических процессов, происходящих в условиях газоструйного осаждения алмазных структур. Исследовано течение активированного газа в сопле, установлено существенное влияние процессов в сжатом слое, формируемом вблизи подложки, на скорость синтеза алмазных структур. Определены режимы течения активированных в разрядной камере компонент смеси к подложке, показано заметное торможение тяжелых компонент в сжатом слое. Показано, что при увеличении давления в камере осаждения от 10 до 80 торр скорость роста кристаллов возрастает в 4 раза за счет увеличения удельного потока активированных компонент к подложке.

Ключевые слова газоструйный метод, осаждение алмазов, метод ПСМ
Поступила
в редакцию
15 апреля 2020После
доработки
21 июня 2020Принята
к публикации
21 июня 2020
Получить
полный текст
https://elibrary.ru/item.asp?id=44573404
<< Предыдущая статья | Год 2021. Номер 1 | Следующая статья >>
Система OrphusЕсли Вы обнаружили опечатку или неточность на странице сайта, выделите её и нажмите Ctrl+Enter

119526 Москва, пр-т Вернадского, д. 101, корп. 1, комн. 243 (495) 434-22-21 mzg@ipmnet.ru https://mzg.ipmnet.ru
Учредители: Российская академия наук, Институт проблем механики им. А.Ю. Ишлинского РАН
Свидетельство о регистрации СМИ ПИ № ФС77-82144 от 02 ноября 2021 г., выдано Федеральной службой по надзору в сфере связи, информационных технологий и массовых коммуникаций
© Изв. РАН. МЖГ
webmaster
Rambler's Top100